衍射光栅的类型

衍射光栅

衍射光栅是一种光学元件，它将能量衍射成其组成波长。

衍射光栅的槽密度、深度和轮廓决定了衍射光栅的光谱范围、效率、分辨率和性能。通常有两种不同类型的衍射光栅-直纹光栅和全息光栅。刻划衍射光栅由刻线引擎产生，该刻线引擎使用金刚石尖端工具在光栅基板（通常为涂有薄反射层的玻璃）的涂层上切割凹槽。全息衍射光栅是使用干涉光刻技术制作的，它可以产生光滑的沟槽表面，并消除直纹光栅中的周期性误差。

衍射光栅可以是反射光栅或透射光栅。最常见的衍射光栅类型是平面光栅和凹面光栅，尽管它们也可以是其他轮廓，如凸面或环形，具体取决于应用。反射光栅通常涂有一层反射涂层，通常是铝和一层用于UV-VIS-NIR的保护涂层，或者是用于IR的金涂层。

透射光栅通常带有防反射涂层。衍射光栅可以具有正弦或闪耀轮廓。正弦光栅的效率通常低于闪耀光栅，但其光谱覆盖范围通常更广。闪耀光栅具有“锯齿”轮廓，通常提供更高的效率。商用衍射光栅通常是由副主衍射光栅产生的复制光栅，副主衍射光栅可能比主衍射光栅低若干代。通常，产生主衍射光栅的成本是昂贵的，并且通过提供复制光栅（其提供几乎不可区分的性能），一个主衍射光栅可以产生数千个复制品，从而降低衍射光栅的单位成本。